產品概述：

●主要用于半導體器件退火及燒結等工藝，可進行真空、氣體保護等

●設備結構新穎，操作方便

●在一臺設備上可以完成多個工藝流程

產品特點：

●自動化程度高

●采用進口溫度控制器，溫控器能受控運行、停止、保持，靈活控制工藝溫度變化

●電氣元器件采用進口知名品牌元器件，保證了設備具有較好的穩定性、可靠性

●處理全過程由工業計算機智能化自動控制化能夠實現全程監控、跟蹤、自診斷功能、模擬顯示設備的工作狀態，升溫和降溫速度可控

技術指標：

●最高溫度：200-800℃ ●恒溫區：1200mm（長度可定制）

●控溫精度：±1℃ ●真空室：2-3工位

●真空度：≤5*10-4pa ●升溫速率：15℃/min

●氣氛保護：快速開啟式安全閥等